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3.2.1 潔凈室(區(qū))的空氣潔凈度等級應按現(xiàn)行國家標準《潔凈廠房設計規(guī)范》GB 50073的有關規(guī)定執(zhí)行。潔凈室(區(qū))設計時,空氣潔凈度等級所處狀態(tài)(空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài))應與業(yè)主協(xié)商確定。
3.2.2 各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定;無要求時,可按本規(guī)范附錄A確定。
3.2.3 潔凈室(區(qū))的溫度和相對濕度應按表3.2 3確定。
3.2.4 各類電子產(chǎn)品生產(chǎn)所需純水水質(zhì)、氣體及化學品的純度和雜質(zhì)含量等應根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。
3.2.5 單向流和混合流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于65dB(A),非單向流潔凈室(區(qū))的噪聲級(空態(tài))不應大于60dB(A)。
3.2.6 潔凈室(區(qū))的微振動控制設計應滿足精密設備、儀器的振動容許值要求。無要求時,可按本規(guī)范附錄C或根據(jù)其工作特性確定。